仪器功能介绍：

仪器功能介绍：

FM-Nanoview OP-AFM原子力显微镜同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响。配备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能，可扩展拉曼光谱仪与原子力显微镜联用功能。精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便，激光检测头和样品扫描台集成一体，结构稳定，抗干扰性强。仪器采用单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描，同时利用马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。采用超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位。具备集成扫描器非线性校正用户编辑器，使得纳米表征和测量精度优于98%。

仪器主要技术参数：

1、一体化的AFM检测头和扫描台系统：包含激光检测头、XYZ扫描器、样品台、Z向自动逼近马达装置。

2、光学显微镜和原子力显微镜一体式的设计，同时具备光学显微镜和原子力显微镜的成像功能。可同时进行光学成像二维测量和原子力显微镜三维测量，光学物镜可以从5倍~50倍之间任意切换，均可以与原子力显微镜同时成像。

3、AFM工作模式：接触模式AFM、动态力模式（DAFM）、F-Z力曲线测量模式、RMS-Z曲线测量模式，摩擦力（FFM）/侧向力（LFM）模式、磁力（MFM）和静电力（EFM）模式。

4、大范围高精度的三轴压电陶瓷扫描器，XY最大扫描范围50μm*50μm，Z最大扫描范围5μm。扫描分辨率XY向0.2nm，Z向0.05nm。

5、支持最大样品尺寸直径达到68mm，厚度达到20mm。采用精密微分头移动的样品台，XY移动范围为25mm*25mm，移动精度可达1μm，实现样品扫描时精准找点定位。

6、智能自动垂直进针方式，线性马达自动逼近，连续逼近或步进逼近；采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，保护探针及样品，单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描，准确定位样品扫描区域。

7、采用无限远光学系统，提供了卓越的光学性能。26mm超大视野平场目镜10X和22mm十字分划目镜10X，在同倍数下获取更大的视场直径，以获取更多的图像信息，双目适度角度和屈光度均可调。

8、系统配置三目正像观察头，10.1寸一体式显示屏工业相机，500万像素CMOS传感器，配合目镜可同时工作。显示屏自带嵌入式系统，可直接操作，无需连接电脑。具有实时拍照、录像、测量等各种基本功能。

9、光学系统配置平场复消色差物镜5X/NA0.15，10X/NA0.30，20X/NA0.35，50X/NA0.50四组。

10、配置气浮式光学减震平台，垂直方向固有频率空载：1～1.7Hz，满载：0.8Hz；水平方向固有频率空载：1.1～1.7Hz，满载：1.0Hz。

11、扫描速率0.6Hz~30Hz，扫描角度0~360°，可进行任意角度扫描。采用“XY比率”技术，支持以1倍速、2倍速、4倍速、8倍速、16倍速、32倍速快速扫描功能。

12、集成压电陶瓷扫描器硬件非线性校正用户编辑器和电子学控制器自动校正功能，纳米表征和测量精度可达到或优于98%。

13、在线控制软件：具备双向、往返、线扫描等多种扫描模式，针尖表针及图像重建功能（针尖形貌估计/图像重建/用已知针尖重建图像），矢量扫描脚本编译器，扫描图像亮度、对比度实时动态，多通道信号同时采集和显示、具备实时在线三维图像显示功能。

仪器使用注意事项：

1.仪器配备气体悬浮台面，不得乱放杂物，更不能随意按压。

2.注意仪器开机和关机顺序，严格按照顺序进行操作。

3.操作过程中，非特殊情况，禁止使用手动进针按钮，防止撞断探针。

4.实验数据请使用格式化的优盘或光碟拷贝，请勿私自使用个人优盘拷贝。

相关资料下载：

原子力显微镜简明操作规程.doc

仪器负责人：

刘顺梅　8462460；于杰伦  8462461